Skip to main content

 

Инфраструктура

poseschenie.png

В Наноцентре около 500 м2 составляют сервисные зоны. Обеспечение выполнения процессов, длительность которых иногда составляет несколько суток непрерывной работы, требует соответствующей надежной инфраструктуры.

Для функций Центра выделена отдельная линия электропитания. Чистоту технологических помещений по классу чистоты ISO6 – ISO8 обеспечиваются вентиляцией … Для процессов роста гетероструктур имеются в наличии газовое хозяйство: N2(чистота…), Cl.. Для процессов травления: .. Вода проходит стадии очистки до следующих параметров:

Безопасность объекта обеспечена соответствующим хранением опасных газов в спецбаллонах, датчики контроля атмосферы, пожарная сигнализация.